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Series 031 | Transfer insert MONOVAT classic
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Series 031 | Transfer insert MONOVAT classic

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产品描述
参数

Factsheet

Series Number 31
Series Name Transfer insert MONOVAT classic
Description For load lock and process chamber isolation in semiconductor production systems for 200 and 300 mm wafers.
Sealing technology MONOVAT-System
Sealing Gate FKM (VITON®)
Sealing Bonnet FKM (VITON®)
Feedthrough Bellows
Leak rate body < 1 . 10-9 mbar ls-1
Leak rate Seat < 1 . 10-9 mbar ls-1
Body material Aluminum
Cycles until first service ≥ 2 million cycles
   

 

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