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Series 021 | Transfer valve MONOVAT classic
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Series 021 | Transfer valve MONOVAT classic

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产品描述
参数

Factsheet

Series Number 21
Series Name Transfer valve MONOVAT classic
Description For load lock and process chamber isolation in semiconductor production systems for 200 and 300 mm wafers.
Sealing technology MONOVAT-System
Sealing Gate FKM (VITON®)
Sealing Bonnet FKM (VITON®)
Feedthrough Bellows
Leak rate body < 1 . 10-9 mbar ls-1
Leak rate Seat < 1 . 10-9 mbar ls-1
Body material Aluminium hard anodized; Aluminum; Stainless steel
Cycles until first service ≥ 2 million cycles
   

 

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