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Series 151 | Low particle HV Gate valve
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Series 151 | Low particle HV Gate valve

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产品描述
参数

Factsheet

Series Number 152
Series Name Low particle UHV Gate valve
Description 15.0 vacuum / 15.1 HV / 15.2 UHV isolation valve for extremely particle and shock sensitive vacuum systems.
Actuator types Pneumatic actuator (double acting)
Sealing technology MONOVAT-System
Sealing Gate FKM (VITON®)
Sealing Bonnet Metal
Feedthrough Bellows, UHV
Leak rate body < 5·10-10 mbar ls-1
Leak rate Seat < 1·10-9 mbar ls-1
Nominal inside diameters (ID) in mm (inch) 63 (2 1/2") - 200 (8")
Body material Stainless steel
Cycles until first service 500'000 cycles

 

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