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Series 150 | Low particle gate valve
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Series 150 | Low particle gate valve

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产品描述
参数

Factsheet

Series Number 150
Series Name Low particle gate valve
Description 15.0 vacuum / 15.1 HV / 15.2 UHV isolation valve for extremely particle and shock sensitive vacuum systems.
Actuator types , Pneumatic actuator (double acting)
Sealing technology MONOVAT-System
Sealing Gate FKM (VITON®)
Sealing Bonnet FKM (VITON®)
Feedthrough , , Shaft feedthrough
Leak rate body < 1·10-9 mbar ls-1
Leak rate Seat < 1·10-9 mbar ls-1
Body material Aluminum
Cycles until first service 500'000 cycles

 

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