PRODUCT

/
Series 070 | ATM Door LINVAT
浏览量:
1000

Series 070 | ATM Door LINVAT

零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
数量
-
+
库存:
0
1
产品描述
参数

Factsheet

Series Number 70
Series Name ATM Door LINVAT
Description For EFEM and load lock chamber isolation on the atmospheric side of semiconductor production systems
Actuator types Pneumatic actuator (double acting)
Sealing technology L-MOTION
Sealing Gate FKM (VITON®)
Sealing Bonnet none
Feedthrough Shaft feedthrough
Leak rate Seat < 1·10-7 mbar ls-1
Cycles until first service ≥ 3 million cycles

 

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加

网站首页  |  关于我们  |  产品展示  |  新闻资讯  |  人才招聘  |  联系我们

版权所有©上海英旭机电科技有限公司         沪ICP备88888888号      网站建设:中企动力浦东

浏览手机端

浏览手机端

关注公众号

关注公众号